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单轴压电扫描台

单轴压电扫描台经典纳米定位系统超高精度应用于高动态性能场合采用PICMA压电触动,高可靠性采用电容传感器,纳米测量范
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压电陶瓷
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产品详细描述
参数

单轴压电扫描台

经典纳米定位系统

超高精度

应用于高动态性能场合

采用PICMA压电触动,高可靠性

采用电容传感器,纳米测量范围内获得高位置精度及高可靠性

无摩擦,柔性铰链机构回程差为零

 

 

 

P-752

超高导向精度  

1

尺寸:66~84×40×13.5 mm ;

重复精度:±1~±2nm;

闭环行程:15~30μm;

角度串扰(θY/θZ):±1μrad;

负载:30N;

刚度:30N/μm;

闭环分辨率:0.1nm;

无负载下自振频率:达3200Hz。

线性度:0.03%;

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P-753

LISA触动及纳米扫描台:可水平向和竖直向运动

1

尺寸:44~80×30×15 mm ;

重复精度:±1~±3nm;

闭环行程:12~38μm;

刚度:45N/μm;

负载:100N垂直方向使用,20N水平方向使用;

角度串扰(θY/θZ):±5~±10μrad;

闭环分辨率:0.05到0.2nm;

无负载下自振频率:达5600Hz。

线性度:0.03%;

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P-750

适用于大负载  

1

尺寸:115×115×25 mm ;

重复精度:±3nm;

闭环行程:75μm;

角度串扰(θY/θZ):±10μrad;

负载:100N;

刚度:12.5N/μm;

闭环分辨率:1nm;

无负载下自振频率:达600Hz。

线性度:0.03%;

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P-620~P-629

PIHera:提供XY和Z向版本  

 

1

尺寸:30×30×12 ~100×100×22.5 mm ;

角度串扰(θY/θZ):±3~±10μrad;

闭环行程:50~1500μm;

重复精度:±1nm;

负载:10N;

刚度:0.4N/μm;

闭环分辨率:0.2nm;

无负载下自振频率:达1100Hz。

线性度:0.02%;

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压电陶瓷Z向扫描台

竖直向运动,紧凑型精密定位台

无摩擦,柔性铰链机构回程差为零

采用PICMA压电触动,高可靠性

提供开始设计版本

 

 

P-620.Z/P-621.Z/P-622.Z

结合长行程应用的高精度平台 PIHera:提供XY和Z向版本

1

尺寸:30×30×15 ~50×50×17.5mm;

重复精度:±1nm;

闭环行程:达250μm;

角度串扰(θY/θZ):<80μrad;

负载:10N;

刚度:达0.6N/μm;

传感器:电容传感器;

无负载下自振频率:达1000Hz。

闭环分辨率:达0.1nm;

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线性度:0.02%;

 
 

 

P-611.Z

高性价比 提供X,XY和XZ向版本

 

1

尺寸:44×44×27 mm ;

重复精度:<10nm;

负载:15N;

角度串扰(θY/θZ):±20μrad;

闭环行程:100μm;

刚度:达0.45N/μm;

传感器:应变片传感器;

无负载下自振频率:达460Hz。

闭环分辨率:2nm;

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线性度:0.1%;

 

 

 

P-612.Z

带通孔紧凑型版本 提供XY向版本

1

尺寸:60×60×27 mm ;

线性度:0.2%;

闭环行程:100μm;

重复精度:±4nm;

负载:15N;

刚度:0.63N/μm;

传感器:应变片传感器;

无负载下自振频率:490Hz。

闭环分辨率:1.5nm;

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S-303

高动态压电移相平台 在开环应用中采用Picoactuator版本获得高线性度

 

1

尺寸:直径30×10mm,开环版本带直径8mm通孔

线性度:1%;

闭环行程:2μm;

重复精度:0.7nm;

负载:0.5N;

无负载下自振频率:25000Hz。

传感器:电容传感器;

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闭环分辨率:0.03nm;

 

Z向和Tip/Tilt压电扫描台

超大通孔

毫秒级单步稳定时间

多轴运动超高精度并联机构

无摩擦,柔性铰链机构回程差为零

采用PICMA压电触动,高可靠性

 

 

P-541.ZC/P-541.TC

参考版 提供XY向版本

1

尺寸:150×150×16.5 mm ;

tip/tilt分辨率:0.08μrad;

运动轴:Z,θX,θY;

线性度:0.03%;

中孔:66×66mm;

重复精度:±2nm;

闭环行程:100μm;

角度串扰(θY/θZ):<15μrad;

闭环tip/tilt行程θX,θY:±0.6mrad;

刚度:0.8N/μm;

负载:50N;

无负载下自振频率:410Hz。

传感器:电容传感器;

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闭环分辨率:0.5nm;

 

 

 

P-541.ZS/P-541.TS

精密版 提供XY向版本

 

1

尺寸:150×150×16.5 mm ;

tip/tilt分辨率:0.25μrad;

运动轴:Z,θX,θY;

线性度:0.2%;

中孔:66×66mm;

重复精度:±10nm;

闭环行程:100μm;

角度串扰(θY/θZ):<15μrad;

闭环tip/tilt行程θX,θY:±0.6mrad;

刚度:0.8N/μm;

负载:50N;

无负载下自振频率:410Hz。

传感器:应变片传感器;

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闭环分辨率:2.5nm;

 

 

 

P-733.Z

超高导向精度参考版 提供XY向,XYZ向版本,及真空版

1

尺寸:100×100×25 mm ;

线性度:0.03%;

运动轴:Z;中孔:50×50mm;

重复精度:±2nm;

闭环行程:100μm;

角度串扰(θY/θZ):<5μrad;

负载:50N;

刚度:2.5N/μm;

传感器:电容传感器;

无负载下自振频率:700Hz。

闭环分辨率:0.3nm;

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P-518/P-528/P-558

在Z向和偏摆向高动态响应特性参考版 提供XY向,XYZ向版本,及真空版

 

1

尺寸:150×150×30 mm ;

tip/tilt分辨率:0.05μrad;

运动轴:Z和Z,θX,θY;

线性度:0.03%;

中孔:66×66mm;

重复精度:达±5nm;

闭环行程:达200μm;

角度串扰(θY/θZ):<100μrad;

闭环tip/tilt行程θX,θY:±1mrad;

刚度:达4N/μm;

负载:100N;

无负载下自振频率:达570Hz。

传感器:电容传感器;

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闭环分辨率:1nm;

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