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高速度,中型负载,低价格系统-H-84
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高速度,中型负载,低价格系统-H-84

精密HEXPOD,真空兼容型号达10的-6百帕真空度,负载达30KG,运动范围100mm/ 60°,移动速度达50
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参数

 

精密HEXPOD,真空兼容型号达10-6百帕真空度,负载达30KG,运动范围100mm/ 60°,移动速度达50mm/s

 

技术参数:

尺寸:直径350×330mm

重复精度X/Y/Z:高达±0.4μm

行程X/Y/Z100×100×50mm

最小运动量X/Y/Z0.5~3 μm

角度行程θX/θY/θZ30×30×60°

最大速度:2.550mm/s

水平面负载/任意安装角度下负载:10~30Kg

点击下载详细指标

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