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V-522 • V-524 • V-528 高动态性PIMag®线性平台
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V-522 • V-524 • V-528 高动态性PIMag®线性平台

参考级线性平台采用磁力直接驱动器的线性定位平台在很大程度上省去了动力传动系统中的机械零件,驱动力直接作用于运动平台
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参数

参考级线性平台

采用磁力直接驱动器的线性定位平台在很大程度上省去了动力传动系统中的机械零件,驱动力直接作用于运动平台。联合精密轴承,实现了高运动精度和更长的使用寿命。该线性定位平台尤其适合扫描应用。

PIMag®音圈

音圈驱动器由两个基本零件组成:永磁体和线圈,线圈位于磁场的气隙中。当电流流过线圈时,线圈在永磁体的磁场中移动。运动方向取决于极性。音圈驱动器具有低重量并且基于无摩擦驱动原理,因此特别适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位,因为它们不存在磁滞效应。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承,滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。

采用增量编码器实现直接位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在运动平台上测量实际位置,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。

应用领域

 

工业和科研。计量、光子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描

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