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双极电容位移传感器
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双极电容位移传感器

电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。
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产品详细描述
参数

电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。

非接触测量意味着没有影响测量的寄生干扰,不受摩擦力和迟滞的影响。

双极电容传感器有更好的性能。

 

特点:

◆ 位置、运动、振动的非接触测量

◆ 量程从20微米到500微米,甚至更宽

◆ 皮米级位移分辨率,10KHz的带宽

◆ 耐高温,长时间稳定性(<0.1nm/3h)

◆ 无磁及真空环境兼容

 

 

型号

测量范围(µm

精度 (%量程)

线性度 (%) 

D-015.00

15

<0.0005

<0.01

D-050.00

50

<0.0005

<0.01

D-100.00

100

<0.0005

<0.01

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