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不锈钢平台在真空环境中的使用说明
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不锈钢平台在真空环境中的使用说明

  • 分类:技术参考
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2015-05-18
  • 访问量:0

【概要描述】实际测量了真空环境下手动不锈钢平台的挥发性气体。实测结果表明,挥发性气体的主要成分为水分和炭化氢。我们推测,这主要是源于附着在平台上的水分和来自润滑油脂的挥发。

不锈钢平台在真空环境中的使用说明

【概要描述】实际测量了真空环境下手动不锈钢平台的挥发性气体。实测结果表明,挥发性气体的主要成分为水分和炭化氢。我们推测,这主要是源于附着在平台上的水分和来自润滑油脂的挥发。

  • 分类:技术参考
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  • 发布时间:2015-05-18
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详情
放出气体量
型号 放出气体量Q(排气40分钟后)
(Torr·ℓ/s/unit) (Pa·ℓ/s/unit)
TSDS-602S 3.57×10-5 4.76×10-3
TSDS-603 1.65×10-5 2.20×10-3

评价装置的技术指标

排气装置 :
涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度: 300ℓ/sec

质量分析装置 :
四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围: 1 - 200amu

真空腔内的真空度
迈微信
质量成分比例
质谱峰的解释

利用质谱测定残留气体时,各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体,其主要成分的一览表及其解释如下。

残留气体谱线一览表

 

 

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